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Anwendung

In der Forschung wie in der Vakuum-Industrie arbeiten Ventile Tag und Nacht, um Vakuum-Prozesse durchzuführen. Das kann eine Produktionsanlage für DVDs, Solarzellen, Halbleiter-Wafern oder beschichtetes Glas sein. Oder ein Forschungs-Gerät für die Analyse von Material, zur Entwicklung von fuktionellen Dünnschichten oder zur Prüfung einer Nanoschicht-Abscheidung.

Ventile sind die Türen zwischen Vakuum und Atmosphäre. Sie erlauben es eine Kammer zu öffnen, mit einer Probe, einem Substrat oder einem Produkt zu beschicken , dann wieder zu schließen und Vakuumbetrieb zu ermöglichen. Sie öffnen oder schließen den Zugang der Pumpe zur Kammer um die Pumpe zu schützen. Vakuum-Ventile können auch das Gate zwischen der einen und der anderen Kammer sein, z.B. als "Load-Lock" um Atmosphäre von der Beschichtungskammer fernzuhalten.

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