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Schmelztiegel

Tiegel sind Behälter um Verdampfungs-Materialien zu halten, während diese sich in den Prozess der Dünschicht-Abscheidung erwärmt.

METALLIC FLEX Tiegel sind für Verdampfungstemperaturen bis zu 2000o ausgelegt.

Materialien sind Molybdän, modifiziertes Molybdän und Wolfram.

Für die richtige Unterstützung von speziellen keramischen Targets wird das Material in Kupfer und Edelstahl Cups in Größen von 12 bis 200mm gefüllt.

Spezielle Legierungen auf Anfrage.