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Manipulatoren

UHV-Manipulatoren dienen der Positionierung von Probenheizungen, Kryostaten, Probenhalter oder Sensoren in Vakuumkammern.

Die Positionierung erfolgt durch Linearschlitten für die x-, y- und z-Achse. Durch Einbauten im Innern kann eine Drehbewegung, Kippbewegung oder eine zusätzliche Rotationsachse erreicht werden. Der Probenträger ist somit über die Präzisionsmechanik in bis zu 6 Achsen zu manipulieren. Die Proben können durch metallische oder keramische Widerstandsheizungen auf bis zu 1000oC geheizt werden. Kryostate kühlen die Probe auf kryogene Temperaturen von 10K.

Typ MA hat den X-Y-Tisch oben, damit wird die kürzeste Baulänge erreicht. Die Linearführung steht still, wenn der X-Y-Tisch bewegt wird. Bei Typ MB ist der X-Y-Tisch am Basisflansch angeordnet, die Linearführung wird mit der X-Y-Bewegung mitgeführt.

METALLIC FLEX Manipulatoren sind für die Verwendung im UHV und auf Präzision gearbeitet.

Die Standardausführung ist für Handantrieb für die Z-Achse mit Handrad, für X- und Y-Achsen mit Drehgriff oder Mikrometerschraube ausgestattet. Alle X-Y-Z-Bewegungen können durch Schrittmotoren mit 200 oder 40.000 Schritten pro Umdrehung betätigt werden. Zum Ausheizen kann der Manipulator auf 230oC erwärmt werden.

Weitherhin steht ein Kryostat zur Verfügung der Proben auf 10K kühlen kann. Senden Sie uns Ihre Anfrage.