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Sputtertargets Keramiken or Kristalle

Boride Ceramic Sputtering Targets

  • CrB2
  • Cr5B3
  • FeB
  • HfB2
  • LaB6
  • Mo2B
  • Mo2B5
  • NbB
  • NbB2
  • TaB
  • TaB2
  • TiB2
  • W2B
  • WB
  • VB
  • VB2
  • ZrB2

Carbide Ceramic Sputtering Targets

  • B4C
  • Cr3C2
  • HfC
  • Mo2C
  • NbC
  • SiC
  • TaC
  • TiC
  • WC
  • W2C
  • VC
  • ZrC

Fluoride Ceramic Sputtering Targets

  • AlF3
  • BaF3
  • CdF2
  • CaF2
  • CeF3
  • DyF3
  • ErF3
  • HfF4
  • SmF3
  • NaF
  • Cryolite
  • Na3AlF6
  • KF
  • LaF3
  • PbF2
  • LiF
  • PrF3
  • MgF2
  • NdF3
  • ReF3
  • SrF2
  • ThF4
  • YF3
  • YbF3

Oxide Ceramic Sputtering targets

  • Al2O3
  • Sb2O3
  • ATO
  • BaTiO3
  • Bi2O3
  • CeO2
  • ZnO
  • WO3
  • Nb2O5
  • Cu2O
  • ITO
  • CuO
  • Cr2O3
  • Dy2O3
  • Er2O3
  • Eu2O3
  • Gd2O3
  • Ga2O3
  • GeO2
  • HfO2
  • Ho2O3
  • In2O3
  • Ta2O5
  • Tb4O7
  • TeO2
  • ThO2
  • Tm2O3
  • TiO2
  • TiO
  • Ti3O5
  • Ti2O3
  • ZrO2-5-15wt%CaO)
  • ITO
  • Fe2O3
  • Fe3O4
  • La2O3
  • PbTiO3
  • PbZrO3
  • LiNbO3
  • Lu3Fe5O12
  • Lu2O3
  • MgO
  • MoO3
  • Nd2O3
  • Pr6O11
  • Pr(TiO2)2
  • Pr2O3
  • Sm2O3
  • Sc2O3
  • SiO2
  • SiO
  • SrTiO3
  • SrZrO3
  • SnO2
  • SnO
  • WO3
  • V2O5
  • YAG
  • Y3Al5O12
  • Yb2O3
  • Y2O3
  • ZnO
  • ZnO:Al
  • ZrO2(unstabilized)

Selenides Ceramic Sputtering Targets

  • Bi2Se3
  • CdSe
  • CuSe
  • Ga2Se3
  • TaSe2
  • WSe2
  • In2Se3
  • PbSe
  • MoSe2
  • NbSe2
  • ZnSe

Silicides Ceramic Sputtering Targets

  • Cr3Si
  • CrSi2
  • CoSi2
  • HfSi2
  • MoSi2
  • WSi2
  • V3Si
  • NbSi2
  • TaSi2
  • Ta5Si3
  • TiSi2
  • Ti5Si3
  • VSi2
  • ZrSi2

Sulfides Ceramic Sputtering Targets

  • AgS
  • Ag2S
  • CuS
  • Cu2S
  • Sb2S3
  • As2S3
  • In2S3
  • MoS2
  • NbS1.75
  • CdS
  • FeS
  • GaS
  • GeS
  • PbS
  • SnS
  • TaS2
  • WS2
  • ZnS

Tellurides Ceramic Sputtering Targets

  • Al2Te3
  • Bi2Te3
  • CdTe
  • CuTe
  • Ga2Te3
  • TaTe2
  • WTe2
  • GeTe
  • ZnTe
  • PbTe
  • MoTe2
  • NbTe2
  • TmTe

Other

  • AZO
  • Cr-SiO
  • CIGS
  • ITO
  • TiZrO3
  • PbZrTiO3
  • LaSrMnO3
  • InP
  • InSn
  • LSMO
  • Na3AlF6
  • SrRuO3
  • IGZO
  • GaAs
  • Ga-P
  • GaSb
  • In-Sb
  • InAs
  • YBCO
  • LCMO
  • YSZ

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