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Substratheizer

Für die Untersuchung von Materialproben unter Vakuumbedingungen steht Ihnen eine Reihe von Heizern zur Verfügung.

Typ HM erreicht mit metallischen Widerstandsfilamenten, z.B. aus Tantal, Temperaturen von bis zu 1000oC. Dieser ist für Substratgrößen von 1 bis 4 Zoll erhältlich. Gemessen wird mit Thermoelement Typ K.

Für oxidierende Atmosphäre bieten wir einen Heizer aus Keramik an, Typ HK, der ebenfalls für 1000oC geeignet ist. Er ist sehr langlebig, kann 2000 Stunden kontinuierlich betrieben werden. Seine Eigenschaften sind schnelles Aufheizen und geringe Deformation der Auflagefläche. Gemessen wird ebenfalls mit Thermoelement Typ K. Größen von 1 bis 4 Zoll.

Typ HE arbeitet mit Elektronenstrahlheizung, Wolfram- oder Iridiumfilament im Bereich von 0 bis 1000V. Temperatur von 2500oC kann erreicht werden. Gemessen wird mit Thermoelement Typ K. Substratgröße ist 1 Zoll.