Membranbälge für die Vakuumindustrie

Der Membranbalg findet die häufigste Anwendung an bewegten Bauteilen mit innerem oder äußerem Vakuum, die gegen Atmosphäre abgedichtet werden. Der Membranbalg benötigt in axialer Richtung nur geringsten Platz. Weiterhin erzielen Membranbälge eine hohe Lebensdauer in Maschinen der Produktion. In Anlagen mit hohen Taktraten erfüllen METALLIC FLEX - Bälge die gestellten Anforderungen an Betriebssicherheit, Sauberkeit und Dichtheit. Hierzu liefern wir eine spezielle Federlegierung die Millionen Zyklen ermöglicht.

In Maschinen zur Herstellung von Halbleitern sowie in Kammern zur Erzeugung von Dünnschichten sichert der Membranbalg die Abdichtung gegen Atmosphäre und liefert dazu konstante Dichtkraft. Dies bewirkt der flexible Körper in Kombination mit der Federkraft. Die Bälge sind über Jahre in Betrieb bei Taktzeiten von oftmals nur 2 Sekunden.

An anderen Positionen werden Proben von einer Kammer in eine andere verschoben. Greifarme zum Verschieben von Wafern oder zum genauen Positionieren sind mit Membranbälgen umschlossen. Zum Heranführen von Prozessmechaniken oder Sensoren werden unsere Bälge mit Erfolg eingesetzt. Senden Sie uns Ihre Anfrage.

Bewegen und doch UHV-dicht bleiben ist die Anforderung für den Balg. Die häufigste Bewegung ist die axiale, der Balg wird aus der freien Länge ca. 80% komprimiert und 20% expandiert. Angulare, also Winkelbewegungen kann der Balg ausführen wie auch laterale, also seitliche Bewegung. Halten Sie für laterale Bewegung bei der Konstruktion genügend Länge zur Verfügung. Auf Wunsch erstellen wir Ihnen ein Datenblatt.

Von Metallic Flex gelieferte Bälge flexibilisieren Anlagen von Marktführern. Nutzen Sie unsere langjährige Kompetenz.

Dichten + Bewegen + Federkraft = Membranbalg