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Vakuumpumpen

Pumpen:

Turbomolekularpumpen
Zweistufige Drehschieberpumpen
Einstufige Drehschieberpumpen
Wälzkolbenpumpen
Scrollpumpen

Zubehör:

Diffusionspumpenöl

Turbomolekularpumpen
EVT-Turbomolekulerpumpen werden hergestellt von KYKY[kewaikewai] Technology Development Ltd. in Peking. KYKY hat durch intensive Entwicklungsarbeit gepaart mit großen Stückzahlen in einem enorm wachsenden Anwendermarkt ein Weltklasseniveau erreicht. Dies wird bestärkt mit der Garantie von 18 Monaten, unübertroffen in der Branche. Die Pumpen sind die ideale Lösung für Anwendungen, die stabile und zuverlässige Geräte verlangen. Wirkungsweise Turbomolekular-Pumpe Ähnlich einer Flugzeugturbine besteht eine Turbopumpe aus hintereinander liegenden Kränzen von Rotorblättern in denen durch hohe tangentiale Geschwindigkeit stufig die Verdichtung der Luftmoleküle zum Zwecke des Auspumpens erfolgt. Die erforderlich hohe Drehzahl von bis zu ca. 60.000/min des Rotors erreicht die High-Tech-Pumpe in wenigen Minuten. Eine eigene Vorpumpenleitung zur Kammer ist nicht erforderlich, weil der schnell anlaufende Turbo das erledigt. Der Rotor ist zuverlässig in keramischen Kugellagern öl- oder fettgeschmiert gebettet, die Schmierstoffe weisen einen niedrigen Vakuumdruck aus.
Anwendung Immer dann, wenn ein echtes ölfreies Vakuum zwischen 10^-4 and 10^-10mbar verlangt wird, kann eine Turbomolekularpumpe zum Einsatz kommen. Sie ersetzt häufig eine vergleichbar große Diffusionspumpe in bestehenden Systemen. Ausführungen aus höherlegierten Werkstoffen für bessere Korrosionsfestigkeit werden in der Halbleiterindustrie eingesetzt, besonders dort wo Ätzgase in Gasplasmen zur Anwendung kommen. Die Anfangskosten einer Turbopumpe liegen höher als bei einer vergleichbaren Diffusionspumpe, jedoch liegen die Betriebskosten einer Turbo niedriger. Dazu kommt der saubere Umgang, der bei einer Diffusionspumpe nicht gegeben ist. Turbopumpen finden Anwendung in: Öfen und Plasma-Anlagen Lasertechnologie Metallurgie Raumfahrtsimulation Vakuumbeschichtungen Halbleiterherstellung Herstellung von elektronischen Speichern und Displays Solarindustrie
Vorteile für Sie 18 Monate Garantie gutes Preis-Leistungsverhältnis hohes Saugvermögen niedriger Geräuschpegel CE-Zertifikat große Auswahl an Zubehör für einfachen Einbau
Drag-Pumpe Eine vorgeschaltete Rotorblattstufe weist die Drag-Pumpe auf. In der Vorstufe dreht der Hochgeschwindigkeitsrotor zwischen nah aneinanderliegenden zylindrischen Wänden mit wendelförmigen Nuten gegenüber den Rotorblättern. Wenn die Tangentialgeschwindigkeit des Rotors sich der mittleren Geschwindigkeit nähert, bringt der Momententransfer eine Pumpleistung in Richtung Auslass. Zur Unterstützung des Molekularstroms haben die wendelförmigen Nuten der Außenwand die gegenläufige Form der Nuten der Innenwand. Drag-Pumpen werden verwendet in sauberen Anwendungen, niedrigen Pumpgeschwindigkeiten und moderaten Enddrücken bei 10^-6mbar. Drag-Pumpen erlauben Ansaugdrücke von 0,1mbar. In manchen Anwendungen können sogar Membranpumpen als Vorpumpe dienen. Dimensionen und Preise finden Sie in unserem Shop Nach oben
Zweistufige Drehschieberpumpen
Wirkungsprinzip EVD-Pumpen sind doppelstufige ölgedichtete Drehschieberpumpen die nach dem bekannten Drehschieber-Prinzip arbeiten. Wie bei der einstufigen ist auch hier der Rotor exzentrisch im Pumpenzylinder positioniert. Im Rotor befinden sich Gleit-Schieber , die sich bei jeder Umdrehung mit Hilfe der Zentrifugalkraft an die Zylinderwand anpressen und damit ein sich ständig änderndes Volumen schaffen. Das abzusaugende Gas fließt durch den Pumpeneinlass und ein eingebautes Anti-Rücksaugventil in den Zylinder. An der Stelle der größten Verdichtung befindet sich der Pumpenauslass, der verbunden ist mit der zweiten Pumpstufe. Dort findet der Verdichtungsprozess in gleicher Art statt. Öl wird ständig aus dem Ölsumpf dem Drehschieber zugeführt, es dichtet und schmiert. Im Austrittsfilter wird das Öl größtenteils eingefangen und zum Ölsumpf zurückgeführt.
Eigenschaften der EV-Pumpen doppelstufiger Aufbau luftgekühlt, kein Kühlwasser erforderlich direktangetrieben, keine Riemen erforderlich kompakter Aufbau hohe Betriebssicherheit einfache Wartung einfacher Betrieb einfache Installation integraler Auspuff-Filter mit 99,9% Wirkungsgrad ruhiger Lauf
Laufruhe Die EV-Pumpen sind auf einen geringen Geräuschpegel ausgelegt. Dies wird durch optimale Auslegung der Schieber, die Auswahl ruhig laufender Motoren und qualitativ hochwertiger Fertigungstechnik mit automatisch arbeitenden CNC-Maschinen für optimierte Toleranzen und Austauschbarkeit von Einzelteilen gewährleistet. Anti-Rücksaugventil Im Ansaugkanal der Pumpe ist ein Anti-Rücksaugventil eingebaut. Es ist durch ein Drahtsieb-Filter geschützt. Im Stillstand der Pumpe, z.B. bei einer Betriebsunterbrechung, schließt das Ventil den Eingang. Das verhindert den Zustrom von Gas in die angeschlossene Vakuumleitung oder Kammer und auch das Rücksaugen von Öl. Das Ventil schließt wenn der Druck unter 800mbar fällt und wenn das Gasballastventil offen ist. Standard-Ausrüstung Composite-Drehschieber hoch effizienter Motor Ölstand-Sichtglas Drahtsieb-Filter-Anzeiger Anti-Rücksaugventil Gasballast-Ventil Dimensionen und Preise finden Sie in unserem Shop Nach oben
Einstufige Drehschieberpumpen
Wirkungsprinzip EV-Pumpen sind ölgedichtet und arbeiten nach dem bekannten Drehschieberprinzip. Der Rotor ist exzentrisch im Pumpenzylinder positioniert. Darin befinden sich Gleit-Schieber, die sich bei jeder Umdrehung mit Hilfe der Zentrifugalkraft dem veränderten Radius anpassen und damit ein sich ständig änderndes Volumen schaffen. Das abzusaugende Gas fließt durch den Pumpeneinlaß und ein eingebautes Anti-Rücksaugventil in den Zylinder. An der Stelle der größten Verdichtung befindet sich der Pumpenauslaß. Öl wird ständig aus dem Ölsumpf dem Drehschieber zugeführt, es dichtet und schmiert. Im Austrittsfilter wird das Öl größtenteils eingefangen und zum Ölsumpf zurückgeführt.
Eigenschaften der EV-Pumpen Ölzirkulation einstufiger Aufbau luftgekühlt, kein Kühlwasser erforderlich direktangetrieben, keine Riemen erforderlich kompakter Aufbau hohe Betriebssicherheit einfache Wartung und Installation einfacher Betrieb integraler Auspuff-Filter mit 99,9% Wirkungsgrad ruhiger Lauf
Laufruhe Die EV-Pumpen sind auf einen geringen Geräuschpegel ausgelegt. Dies wird durch optimale Auslegung der Schieber, die Auswahl ruhig laufender Motoren und qualitativ hochwertiger Fertigungstechnik mit automatisch arbeitenden CNC-Maschinen für optimierte Toleranzen und Austauschbarkeit von Einzelteilen gewährleistet. Anti-Rücksaugventil Im Ansaugkanal der Pumpe ist ein Anti-Rücksaugventil eingebaut. Es ist durch ein Drahtsieb-Filter geschützt. Im Stillstand der Pumpe, z.B. bei einer Betriebsunterbrechung, schließt das Ventil den Eingang. Das verhindert den Zustrom von Gas in die angeschlossene Vakuumleitung oder Kammer und auch das Rücksaugen von Öl. Das Ventil schließt wenn der Druck unter 800mbar fällt und wenn das Gasballastventil offen ist.
Standard-Ausrüstung Composite-Drehschieber TEFC hoch effizienter Motor Öl-Sichtglas Drahtsieb-Filter-Anzeiger Anti-Rücksaugventil Druckanzeiger Spin-On-Ölfilter (nicht bei EV-0020,0016 und 0021) Vibrations-Isolator Gasballast-Ventil (N-Ausführung) Nach oben
Wälzkolbenpumpen
Sie werden auch Rootspumpe, Boosterpumpe oder Rootsgebläse bezeichnet. Sie gehören zu den Verdrängerpumpen, worin zwei Wälzkolben gegenläufig in einem Gehäuse rotieren. Wälzkolbenpumpen werden genutzt um Pumpleistungen zu vergrößern und/oder ein höheres Endvakuum im Pumpsystem zu erreichen.
Pumpleistung erhöhen EVR-Pumpen können mit hohen Drehzahlen laufen, die Wälzkolben haben keinen Kontakt. Durch die hohe Drehzahl erreichen sie eine hohe Pumpleistung bei kleiner Baugröße. Große Gasmengen pumpen sie auch bei kleinen Vorpumpen. Die Energieaufnahme ist geringer als bei einer einzigen Pumpe für gleichen Druck und Saugleistung. Höheres Endvakuum EVR-Pumpen erhöhen den Enddruck um den Faktor 10. Beim Einsatz von zwei Wälzkolbenpumpen und einem entsprechenden Vorpumpe kann 10-5mbar erreicht werden. In manchen Fällen erübrigt sich eine Turbo- oder Diffusionspumpe. Bypass-Ventil Sie werden zwischen Einlass und Auslass der Pumpe montiert. Sie steuern die Druckdifferenz. Ist die Druckdifferenz zu hoch öffnet das Ventil um die Wälzkolbenpumpe vor Überhitzung zu schützen. Mit dem Bypass-Ventil ist es möglich die Wälzkolbenpumpe zu betreiben sowohl beim Start der Vorpumpe wie auch bei gutem Vordruck. Nach oben
Scrollpumpen
Metallic Flex bietet Ihren Kunden nun Scrollpumpen an. Unsere Scrollpumpen sind trockenlaufende Vakuumpumpen von erstklassiger Qualität zum scharf gerechneten Preis. Überzeugen Sie sich von unseren Angeboten. Wirkungsprinzip Trockenläufer-Vakuumpumpen arbeiten mit zwei ineinander gesteckten Spiralzylindern. Einer ist fest montiert, der andere sitzt auf einem Exzenter, bewegt sich ohne sich zu drehen. Durch die Relativbewegung der beiden Spiralzylinder zueinander entstehen Bereiche die sich abwechselnd vergrößern und verkleinern, daraus entsteht die Pumpwirkung. Scrollpumpen haben keine Ventile und keine Dichtungen, deshalb sind sie leicht zu warten und entsprechend sind die Wartungskosten niedrig.
Anwendung In vielen Bereichen von Labors, der Halbleiterindustrie, als Vorpumpe für Hochvakuumpumpen, für Load-Locks und allgemeine Vakuumerzeugung. Eigenschaften EVSL-Pumpen: ölfrei luftgekühlt direktangetrieben niedrige Energieaufnahme kompakter Aufbau niedriger Enddruck niedriger Geräuschpegel einfache Bedienung und Wartung Standard-Ausrüstung: integrierter Laufzeitzähler, Anti-Rücksaug-Ventil, Gasballastventil Nach oben