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Membranbälge für die Industrie

für hohe Zyklenzahlen für schnelle Bewegungen für die Schwingungsentkopplung für Halbleitermaschinen
In Maschinen zur Produktion von Halbleitern sichert der Membranbalg Abdichtung und konstante Dichtkraft. In Kammern zur Erzeugung von Dünnschichten wird die Federkraft des Membranbalges zum Abdichten des Produkts gegen die Atmosphäre genutzt. Die Bälge sind über Jahre in Betrieb bei Taktzeiten von oftmals 2 Sekunden. An anderen Positionen werden Proben von einer Kammer in eine andere verschoben. Greifarme zum Verschieben von Wafern oder zum genauen Positionieren sind mit Membranbälgen umschlossen. Zum Heranführen von Prozessmechaniken oder Sensoren werden unsere Bälge mit Erfolg eingesetzt. Senden Sie uns Ihre Anfrage.

Dichten + Bewegen + Federkraft = Membranbalg

Die Tabellenwerte geben einen Überblick für die wichtigsten technischen Daten. Senden Sie Ihre Anfrage zur detaillierten Auslegung an die METALLIC FLEX GmbH

Zeichnungen für Bälge in Maschinen werden meist vom Kunden vorgegeben. Die Endstücke bestehen oft aus einem Flansch mit Dichtnut und Bohrungen. Oft sind einerseits Bolzen integriert die die Dichtbewegung einbringen. Senden Sie uns Ihre Zeichnung.

Zuletzt geändert am 30.06.2011